Stabile isotopenmarkierte Borsäure für den Dotierungsprozess von Halbleitern

  • Enriched Boric Acid-11
    Angereicherte Borsäure-11 (H₃¹¹BO₃) mit CAS-Nr. 13813-78-0
    Angereicherte Borsäure-11 ist eine stabile isotopenmarkierte Borsäure, die aus hochkonzentriertem ¹¹B synthetisiert wird und die CAS-Nr. 13813-78-0 sowie die Summenformel H₃¹¹BO₃ besitzt. Sie tritt als weißes, pulverförmiges Kristallprodukt oder als glänzendes, flockiges Kristallprodukt auf.¹¹B weist einen nahezu verschwindenden thermischen Neutronenabsorptionsquerschnitt auf (thermischer Neutroneneinfangquerschnitt von lediglich 0,005 Barn). Es dient als wichtiger Rohstoff für die Ionenimplantation in Halbleitern und die Herstellung von Spezialmaterialien und findet breite Anwendung in der Chipfertigung für moderne Halbleiter und in der Speziallegierungsindustrie. 
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